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充气开关柜检漏设备  

由于工件内外压差不能大于0.04mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，半导体---检漏系统价格，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充---、---检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，---系统本身运行---安全和被检工件的安全。为了---工件的安全，半导体---检漏系统生产厂家，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向pid发布指令、系统运行状态集中管理。

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