




1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,蒸发器---检漏仪厂家,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,蒸发器---检漏仪,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---;价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体,主要原因如下:
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、---是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。
4、在---两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与---相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找---峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的---离子通过,提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
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为---汽车空调的制冷效果和使用寿命,汽车空调的蒸发器、冷凝器、压缩机等的检漏是不可少的,传统的检漏方法,由于其灵敏度低、使用烦杂、工作强度大等因素,如水检法、卤素法、压力衰减法等已被高灵敏度、规范化、的真空检漏技术——---充气回收检漏系统所替代并取得理想的效果。
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