




真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。
该设备有两种工艺流程:常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要,在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后,系统即按照用户的设定参数默认执行。
设备具有---的智能化,当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时,系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组,硅片除气装置,供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能,方便客户的使用。
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,---体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现---的温度均匀性。具有使用---、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310s)板材料,并且焊接多道加强筋以---不变形。
一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方,环境温度是5-35℃,天津硅片除气装置,环境湿度是35%~65%的相对湿度;且要保持放置---期通风---的位置。
请小心将物品放入机台,硅片除气装置价格,关上箱门,检查是否密闭。试验结速后,站侧面打开箱门,以免热气烫到---。
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