---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，电子器件---检漏设备公司，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，压缩机---检漏设备公司，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
汽车空调两器检测要求
1.1 空调两器实际工况
1.空调两器工作介质：氟利昂或者碳氢化合物作为制冷剂工作于汽车空调内部，目前比较流行使用r134a作为汽车空调的制冷剂。
2.压力范围：不同规格的空调两器工作范围在2.0~3.5mpa之间，正常工作压力在0.8~2.0mpa之间。注：特殊情况除外。
3.气密性要求：对于两器产品，充注一定压力r134a制冷剂，泄露量小于2克/年。
4. 耐压要求：对产品加压到实验压力，保压一段时间，降到常压，经检查无泄漏和异常变形。
1.2 空调两器---检漏基本要求
1.耐压测试要求：一般两器在执行---检漏之前会充注一定压力（一般不超过3.5mpa）的高纯氮气或者干燥的压缩空气，对工件作耐压测试，如果不出现明显变形及大漏，再执行---检测工艺。
2.---检测精度要求：由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同，但一般都会遵循行业标准，或比行业标准要求稍高。通常“两器”检测标准不会超过1克/年。
3.检测节拍要求：据调查一般的两器生产厂家年产量都会在十万只以上，要实现所有产品全部使用---检测，就要求---检测节拍越快越好。中科科美生产的---检系统，针对冷凝器检漏节拍在40秒/件，针对蒸发器检漏可达20秒每件；
4.---气回收要求：---检漏系统使用---气作为示踪气体，由于---气比较贵重，---检漏设备公司，如果直接排放，必然导致检测成本的大幅增加。因此，一般厂家都会要求---气可回收，即循环利用。---检系统，---气回收率可达95%以上。
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用于电厂检漏的---质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率： 5×10-12pa·m3/s漏率显示的范围： 1×10-3～1×10-12pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： <2s检漏口： 300pa---真空： 5×10-4pa外形尺寸： 560（w）×420（d）×300（h）重量：46kg
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