




---质谱检漏仪一般由质谱管,油箱---检漏系统,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,油箱---检漏系统公司,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1.配置与气路控制
真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。
工件抽空系统:低真空泵及阀门,低真空测量充氮与回收系统:---气储存罐(高压罐),---气回收取罐(低压罐),主压缩机,辅压缩机,过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统:为自动控制型,由面板、plc系统(可编程逻辑控制器),充---回收系统,真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计,同时,实施对整个系统的工作控制,对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4,泵系统对工件和真空箱抽真空,如果限定的时间内抽到限定的真空度,此时,电气控制系统关闭v1,打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力,稳定,油箱---检漏系统厂家,关闭v2
3)、关闭v4,打开v3、v5,处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏,如果不漏,电气控制系统指挥关断v3、v5,打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气,开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件,检漏仪声光报警,将:工作内的---气回收,对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除,免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分,河北油箱---检漏系统,其实也便是不要进行检测。否则的话,它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲,这样来讲,其实也便是会对人形成很大的损伤;在走漏测验完毕的时分,记住把空气扫除洁净之后,其实也便是要撤除被测物。
否则的话,检漏设备的残留压力可能会形成财产损失或者是会使人---;检漏设备长期不必的时分,为了安全起见,必定要把主电源或者是空压源进行堵截。其电源电缆以及其配线和配管破损的时分,其实也便是要留意当即堵截咱们的主电源与空压源,这样其实也便是要替换它的新配件。
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