




实际使用---气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13pa·m3 / s; 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内; 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力:1000pa; 电源需要220v,50hz,单相,10a。
使用---气检漏设备时,请注意其机械泵的抽速为4l / s; 工作环境要求为5-40℃; 应注意相对湿度必须小于或等于80%; 尺寸:600(w)×550(d)×1000(h); 通常重量将保持在65kg。 关于---气检漏设备,压缩机---检漏仪器,应注意其配备了标准---气检漏装置,包括更详细的校准报告。
1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,压缩机---检漏仪器价格,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,压缩机---检漏仪器厂家,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
说到---气检漏设备的特点,首先,我们还需要注意分子泵,使用进口的检漏仪的分子泵。美国ad放大器用于有效降低---气检漏设备的噪声并提高---气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于---和高灵敏度。
---气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性,检漏率范围广,可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝,压缩机---检漏仪器,---,灵敏度高。 特有的三屏切换,信息替换更丰富,检漏更方便; 它具有快速---气清洗功能和快速响应功能。
---气检漏设备可实现一键归零; 采用全自动液晶触摸彩屏显示,实现智能自动化,操作更方便,简单---; 中英文菜单,菜单可以一键实现,实际使用效果---。
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