




选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---;价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体,主要原因如下:
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,阀门---质谱检漏仪,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),压缩机---质谱检漏仪,易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、---是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,北京---质谱检漏仪,不会污染被检件,使用安全。
4、在---两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与---相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找---峰时,蒸发器---质谱检漏仪,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的---离子通过,提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
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正压法
正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中,泄漏孔泄漏到外部---气中,然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时,一旦---气被吸入,---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下,由于压力容器装置的外部是一个---压,充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而,压力不应太高。如果压力过高,插入设备的压力表或其他插件会弹出,造成伤害和其他危险事故。

由于工件内外压差不能大于0.04mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充---、---检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,---系统本身运行---安全和被检工件的安全。为了---工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向pid发布指令、系统运行状态集中管理。
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